— 公司簡介 —
一塔半導體（安徽）有限公司，專注于半導體先進制程設備研發、生產及銷售，產研基地分別位于合肥經開區和浙江德清（瑤光半導體）。公司已成功正向研制外延生長系統（MOCVD）和退火系統（RTP及激光退火），并實現了多項創新技術方案的專利申請與應用，涵蓋自主研發的SiC/GaN外延生長技術，快速熱處理/熱氧化/熱氮化（RTA/RTO/RTN）技術，以及功率芯片背面激光退火、金屬合金等系統解決方案。目前，公司已獲得多項發明專利授權，設備性能在業界處于先進水平。ETA-semitech始終堅持全流程正向研發，不斷追求創新，致力于助力合作伙伴實現其愿景
