企業(yè)簡介
一塔半導(dǎo)體（安徽）有限公司，專注于半導(dǎo)體先進制程設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)研基地分別位于合肥經(jīng)開區(qū)和浙江德清（瑤光半導(dǎo)體）。公司已成功正向研制外延生長系統(tǒng)（MOCVD）和退火系統(tǒng)（RTP及激光退火），并實現(xiàn)了多項創(chuàng)新技術(shù)方案的專利申請與應(yīng)用，涵蓋自主研發(fā)的SiC/GaN外延生長技術(shù)，快速熱處理/熱氧化/熱氮化（RTA/RTO/RTN）技術(shù)，以及功率芯片背面激光退火、金屬合金等系統(tǒng)解決方案。目前，公司已獲得多項發(fā)明專利授權(quán)，設(shè)備性能在業(yè)界處于先進水平。ETA-semitech始終堅持全流程正向研發(fā)，不斷追求創(chuàng)新，致力于助力合作伙伴實現(xiàn)其愿景
